澳门新濠天地

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    大尺寸光罩

    主要应用领域: 1.TFT LCD、OLED等显示面板行业; 2.TP触控屏行业; 3.FPC/PCB线路板行业。

    1. 详细信息

    铬版精度(Standard Size:430mmx430mm)

    精度/级别

    最高精度

    高精度

    中精度

    一般精度

    最小线宽/线缝

    0.75μm/0.75μm

    5μm/5μm

    10μm/10μm

    20μm/20μm

    线条精度

    ±0.08μm(QZ)

    ±0.5μm

    ±1.0μm

    ±2.0μm

    总长精度

    ±0.3μm(QZ)

    ±1.0μm

    ±2.0μm

    ±2.0μm

    图形位置精度

    ±0.3μm(QZ)

    ±1.0μm

    ±2.0μm

    ±3.0μm

    套合精度

    ±0.3μm(QZ)

    ±1.0μm

    ±2.0μm

    ±3.0μm

    铬版材料 (Photomask blank phate)

    材料

    Soda Lime GlassQuartz

    最大尺寸

    1620mm*1780mm

    常规尺寸

    420mmx520mm,520mm*610mm,520mm*800mm,700mm*800mm,

    800mm*920mm,800mm*960mm,850mm*1200mm,850mm*1400mm,

    1220mm*1400mm,1220mm*1650mm,1620mm*1780mm

    厚度

    2.3±0.2mm,3.0±0.2mm,4.8±0.2mm,7.8±0.2mm,

    5.0±0.2mm(QZ),8.0±0.2mm(QZ),10.0±0.2mm(QZ),

    13.0±0.2mm(QZ),15.0±0.2mm(QZ),17.0±0.2mm(QZ)

    铬膜

    Low Reflectance Chrome

    光学密度(λ=450nm)

    Between Plates3.0±0.3In Plate±0.3

    反射率(λ=436nm)

    Between Plates10±5%In Plate±2%

     


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